【摘 要】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所和美国佐治亚理工学院合作，成功研制出了“直写式”三维微纳结构制造系统，实现了金属材料微米／纳米级别单线和阵列的快速生长。采用该系统，微
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所和美国佐治亚理工学院合作，成功研制出了“直写式”三维微纳结构制造系统，实现了金属材料微米／纳米级别单线和阵列的快速生长。采用该系统，微米／纳米线的生长速度可达1.3μm／s，比传统薄膜沉积速度快几个数量级。该系统将电化学沉积与蘸笔工艺结合，电解液从电极流出后直接还原固化，可形成高深宽比（100以上）的微纳结构；其采用自动控制技术，可制造出复杂的三维结构和阵列。与现有技术相比，该系统工艺简单、易于操作，可减小集成电路和微电子器件的尺寸，便于在微纳器件中集成更多功能。
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