【摘 要】
：
以螯合剂与活性剂为材料,利用难溶物质微弱电离平衡、螯合剂络合机理以及活性剂的铺展、润湿以及渗透作用,结合有机物结构相似相溶原理,研制新型碱性清洗液,用于有效去除Cu-C
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室,
论文部分内容阅读
以螯合剂与活性剂为材料,利用难溶物质微弱电离平衡、螯合剂络合机理以及活性剂的铺展、润湿以及渗透作用,结合有机物结构相似相溶原理,研制新型碱性清洗液,用于有效去除Cu-CMP后的苯并三氮唑(BTA)。通过接触角测试、电化学实验以及原子力显微镜(AFM)测试可以得出:体积分数为0.015%的FA/OⅡ螯合剂、体积分数为0.003%的FA/OⅠ螯合剂与体积分数为0.1%的FA/O活性剂组成的新型碱性清洗剂,采用清洗液体积流量为1 440 mL/min进行PVA刷洗,可以有效去除BTA,且具有较低的表面粗糙度和较高的表面耐腐蚀性。螯合剂既可以与Cu-BTA反应生成铜胺络离子去除BTA,也可作为催化剂,提高活性剂在Cu表面的铺展、润湿及渗透效果,进一步增强BTA的去除效果。
其他文献
【摘 要】在幼儿成长和发展的过程中，家园共育对其起到了极为重要的辅导和辅助作用。在现有条件下，如何做到真正的家园共育，在家庭和幼儿园的共同努力下，让幼儿得到全面的发展？笔者结合多年的教育经验，对家园共育对幼儿发展的意义进行了阐述，并提出了如何有效地在幼儿发展中运用家园共育的策略，希望给幼儿教育工作人员提供一些建议和参考。 【关键词】幼儿教育; 家园共育; 幼儿发展 《幼儿园教育指导纲要》中明确
利用规格为Φ40 mm×1200 mm的吸附装置模拟实际铀水冶过程工业生产过程,测得了在固定床离子交换吸附的穿透曲线,并进行了静态吸附实验,测得了不同浓度条件下的平衡吸附量.应
经济特区立法权是我国地方立法权中一种特殊且重要的表现形式，其根本特征是立法变通权。在中国特色社会主义进入新时代的关键时期，在大力推进全面深化改革和全面依法治国的新的
真空冷却过程是复杂的相变传热传质过程,该过程涉及到扩散、传热、传质和相变等机理.在能量和质量守恒的基础上,经过适当的简化,建立了真空冷却过程中的数学模型.通过对结果
在大众文化时代,广电传媒成为对儿童进行启蒙教育的重要方式。大量的社会文化信息主要通过两种渠道,即学校教育和影像符号,进入到儿童世界中。儿童在成长过程中,无论是品德思