【摘 要】
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针对微电子封装中非透明模板的对准问题,对光路设计和准算法进行了研究,提出了一种双向机器视觉对准系统。通过架设一块与待对准模板平行的透明标定板来延伸模板尺寸,并将上
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院,江苏诚睿达光电有限公司
【基金项目】
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江苏省自然科学基金优秀青年基金资助项目(BK20160084),南京市产学研后补助项目(201722014)
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针对微电子封装中非透明模板的对准问题,对光路设计和准算法进行了研究,提出了一种双向机器视觉对准系统。通过架设一块与待对准模板平行的透明标定板来延伸模板尺寸,并将上、下两块模板分别置于不同的工位进行了摄影,从而克服了相机在狭窄空间无法安装,以及金属模板无法透视的问题,实现了间接对准,并开发了自动对准系统;系统以机器视觉为基础,通过双向视觉系统获取图像,分别采用图像匹配算法与Canny算子,对模板边缘图形进行了初提取与亚像素级二次提取,进而通过坐标转换,间接计算出了模板副的平面位置偏差,并用于驱动XYR工作台
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