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2001年和2006年国内半导体专用设备市场与其上年相比都获得成倍增长。2001年比2000年增长了151．2％，达到了一个新台阶，为108亿元（11．2亿美元）。之后几年开始稳步递增。2006年中国半导体设备市场增长101．3％，达到189．6亿元，其中封装测试设备市场为89．7亿元，增长117．20％。