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本文介绍了用于电子元器件镀膜的两种新的镀膜技术：离子束辅助蒸发镀膜及非平衡磁控溅射镀膜。
电子元器件中的薄膜新技术
【摘 要】
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本文介绍了用于电子元器件镀膜的两种新的镀膜技术：离子束辅助蒸发镀膜及非平衡磁控溅射镀膜。
【机 构】
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西安工业学院
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2001年3期
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