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随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统定义了SEMI标准中规定的控制模型与状态模型及其他操作,能够满足实际控制需要与SEMI标准的要求。
基于SEMI标准的集成电路制造装备控制系统设计
【摘 要】
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随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统
【机 构】
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重庆邮电大学光电工程学院
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2012年2期
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