【摘 要】
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利用两步法-金属辅助化学刻蚀法(metal-assisted chemical etching,MACE)制备硅纳米线(silicon nanowires,SINWs)样品。研究了刻蚀温度、刻蚀时间、过氧化氢(H2O2)浓度对样品
【机 构】
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上海第二工业大学环境与材料工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金重大项目(51590902),上海第二工业大学研究生项目基金(EGD18YJ0061)资助
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利用两步法-金属辅助化学刻蚀法(metal-assisted chemical etching,MACE)制备硅纳米线(silicon nanowires,SINWs)样品。研究了刻蚀温度、刻蚀时间、过氧化氢(H2O2)浓度对样品SINWs的形貌和反射率影响。研究发现,随着刻蚀时间增加,SINWs样品的长度随之增加,而反射率降低。H2O2浓度提高,SINWs样品的长度也增加,在浓度为0.1 mol/L时反射率降至最低。刻蚀温度升高,SINWs样品的长度先增加,然后随着SINWs生长速率变快的同时样品的形貌
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