基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度

来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yumeng88888888888888

【摘要】

：

提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法.通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜,实现了对光束的微分剪切及复合偏振.利用矩阵分析法建立了该测量系

【作者】

：

惠梅邓年茂杨佩原赵跃进

【机构】

：

北京理工大学,信息科学技术学院光电工程系,北京,100081北京控制与电子技术研究所,北京,100038;中国兵器科学研究院,北京,100089;

【出处】

：

光学技术

【发表日期】

：

2008年2期

【关键词】

：

波面剪切台阶高度偏振干涉波面剪切分光棱镜

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法.通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜,实现了对光束的微分剪切及复合偏振.利用矩阵分析法建立了该测量系统的数学模型,根据探测到的光强信息图,由光强与干涉相位差间的关系式提取到了测量区域的相位分布值,由位相与待测物纵向深度间的转换关系式,经图像重建后通过计算得到了台阶的表面高度信息.

其他文献

KDM5B抑制剂筛选方法的建立及其抑制剂的筛选和作用机制研究

组蛋白赖氨酸去甲基化酶5B(Histone Lysine Demethylase 5B,KDM5B)是含Jmjc结构域的家族中的一员。KDM5B以Fe(II)和α-酮戊二酸为辅助因子能去除组蛋白3第4位赖氨酸的单、双、三甲基化的去甲基化酶。研究发现KDM5B参与多个靶基因启动子周围的抑制性转录复合物的形成,并对染色质结构发挥广泛的调节作用,与肿瘤的发生发展有密切关系。本课题组通过调研文献发现KDM

学位

组蛋白赖氨酸去甲基化酶5B抑制剂筛选药物设计抗肿瘤作用

新型核苷类似物FNC对Raji细胞的作用及其机制研究

背景和目的:　　恶性淋巴瘤是一种实体瘤，起源于淋巴造血组织。淋巴瘤临床表现变化多端，尤其是非霍奇金淋巴瘤(Non-Hodgkin lymphoma，NHL)，容易侵犯结外组织，几乎包括人体各种组

学位

核苷类似物FNCRaji细胞恶性淋巴瘤病理特征临床疗效

梦中传彩笔诗罩乌托邦——再论废名《桥》

废名《桥》留给读者极深的印象便是“梦幻”和“诗情”,这也使得废名与其他现代乡土小说家大异其趣.具体到作品中,我认为作者是通过意象的精巧饰缀、境界的匠心营构和语言的

期刊

基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度

其他学术论文