【摘 要】
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本文通过对蓝宝石衬底倒角工艺的分析,探讨衬底边缘倒角长度均匀性的影响因素及其影响规律。测量衬底边缘5个位置点的倒角长度,计算倒角长度的均匀性(CU%)。通过开展倒角试验
【机 构】
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福建晶安光电有限公司,华侨大学制造工程研究院
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本文通过对蓝宝石衬底倒角工艺的分析,探讨衬底边缘倒角长度均匀性的影响因素及其影响规律。测量衬底边缘5个位置点的倒角长度,计算倒角长度的均匀性(CU%)。通过开展倒角试验,分析了磨削速度、砂轮表面磨粒状态以及衬底面形精度对倒角长度均匀性的影响。试验结果表明:随着磨削速度的提高,倒角长度均匀性有所提高,但速度继续增大时,倒角长度均匀性会变差。随着倒角片数的增加,砂轮表面磨粒状态趋于稳定,倒角长度均匀性变好。但随着砂轮磨损到一定程度时,CU%的标准差逐步变大。衬底的TTV和Warp值对倒角长度均匀性也有着较为重
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