【摘 要】
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微电子元器件及其系统越来越广泛地应用于信息、航空航天、深空探测、机械、交通、能源、生物、医疗等领域,并伴随集成电路、微纳制造、新型材料等高新科学技术的发展,迅速向
【机 构】
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清华大学机械工程系;武汉大学动力与机械学院/工业科学研究院;哈尔滨工业大学机电工程学院
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微电子元器件及其系统越来越广泛地应用于信息、航空航天、深空探测、机械、交通、能源、生物、医疗等领域,并伴随集成电路、微纳制造、新型材料等高新科学技术的发展,迅速向微型化甚至纳米尺度、多功能、高功率、多材料应用、复杂三维结构等方向发展.微纳尺度的材料连接即“微纳连接”是微电子元器件及其系统性能,特别是严苛条件下服役可靠性的关键制造环节和核心技术.
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