论文部分内容阅读
从半导体制造工艺晶体生长与社底制备、氧化、扩散、外延生长、化学汽相淀积、物理淀积、离子注入,刻蚀、光刻、合金化和焊接等方面,叙述了对气体使用的要求。
集成电路制造工艺及其使用的气体
【摘 要】
：
从半导体制造工艺晶体生长与社底制备、氧化、扩散、外延生长、化学汽相淀积、物理淀积、离子注入,刻蚀、光刻、合金化和焊接等方面,叙述了对气体使用的要求。
【机 构】
：
北京市特种气体研究所北京100022
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
1992年01期
其他文献
中国先秦时代由墨子及其弟子所创立的墨家逻辑,对中华民族优秀的科学思维传统的形成起到了重要的推动作用。墨家“三物逻辑”强调一个论证的论题要成立,必须满足故、理、类三
针对智能电表外观缺陷检测人工方法自动化程度低、劳动强度大、检测效率不高等问题,结合智能电表外观,设计了基于机器视觉的智能电表外观缺陷检测系统。系统选用高清相机、计
通过对逆向物流系统复杂性的描述，分析逆向配送的成本问题，提出逆向配送成本模型的假设并建立模型。通过模型的建立及对物流系统的整体优化，可以实现逆向配送过程中的总成本最小
抖音短视频凭借其创新的制作理念、多元的视频内容、优越的交互体验等特色迅速赢得大学生的青睐,大学校园抖音火爆现象愈演愈烈。但是抖音短视频在丰富大学生校园生活的同时,
<正>云南的文化体制改革在近几年得到了强势推进,文化产业取得了飞速发展。作为特殊文化产品的舞蹈艺术,在文化体制改革中也经受到了各种严峻的考验。如何在发展舞蹈产业的同
现代教育中,人们在重视学生心理素质培养的过程中,逐渐认识到教师心理素质直接影响着学生心理的发展,同时,教师心理素质对教师专业发展和个体生活质量的提高也会产生重要影响