多微通道式气体静压节流器温度效应的数值仿真

来源 :机床与液压 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czd1986624
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气体静压节流器的变形量一般在微纳米级,难以采用实验的方法测得。对自主设计的多微通道式气体静压节流器,利用ANSYS软件对其受温度效应的影响进行研究。采用流固耦合分析方法,对供气温度和环境温度均为20℃,供气压强为(0.2-0.6)MPa,气膜厚度为10μm、20μm、30μm、40μm时节流器的温度分布及变形量进行仿真分析。研究结果表明:供气压强越大,气膜厚度越小,温度效应越明显,节流器内部温度和压强的降低引起的节流器变形越大。而温度变化对节流器的影响要明显强于压强变化对节流器的影响。其中,温降引起的最大
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