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对两种莫尔条纹(光闸条纹和横向条纹)信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度的影响进行了分析,并用实测数据加以比较,指出在光栅系统中,取横向莫尔条纹信号的谐波量小,正弦性好,细分误差小,在其它参数相同的情况下,可提高系统的测量精度2倍左右.
两种莫尔条纹信号对光栅系统测量精度的影响
【摘 要】
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对两种莫尔条纹(光闸条纹和横向条纹)信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度的影响进行了分析,并用实测数据加以比较,指出在光栅系统中,取横向莫尔条纹信号的谐波量小,正
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2002年6期
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