基于傅立叶变换的射频场分布测量方法

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提出了一种基于傅立叶变换的射频场分布测量方法,该方法可以方便地测量出射频场的分布,其测量结果与样品的均匀度无关并且可以分别观测某个像素点处的层内射频场非均匀性或某个小区域内的射频场非均匀性.
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