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利用准分子激光蒸发非超导粉末靶在（１００）ＺｒＯ＿２基片上原位淀积出了零电阻温度为８８Ｋ的ＹＢａ＿２Ｃｕ＿３Ｏ＿（７－ｘ）超导薄膜，基片温度为５００℃．对薄膜及所用的粉末靶进行了Ｘ射线衍射分析，并对其成膜机理进行了讨论。
激光蒸发非超导粉末靶原位淀积高温超导薄膜
【摘 要】
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利用准分子激光蒸发非超导粉末靶在（１００）ＺｒＯ＿２基片上原位淀积出了零电阻温度为８８Ｋ的ＹＢａ＿２Ｃｕ＿３Ｏ＿（７－ｘ）超导薄膜，基片温度为５００℃．对薄膜及所用的粉末靶进行了Ｘ射线衍射分析，并对其成膜机理进行了讨论。
【机 构】
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激光技术国家重点实验室,华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1995年S2期
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