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从电容式压力传感器的结构、环境适应性、介质相容性、产品性能及测量范围等方面,较全面阐述可变电容压力测量技术的特点。并以国外典型产品为例,说明该类传感器在很宽的压力测量范围（0～25Pa至0～70MPa）内能以百万分之一的高分辨率实现高精度测量。
可变电容压力测量技术
【摘 要】
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从电容式压力传感器的结构、环境适应性、介质相容性、产品性能及测量范围等方面,较全面阐述可变电容压力测量技术的特点。并以国外典型产品为例,说明该类传感器在很宽的压力测量范围（0～25Pa至0～70MPa）内能以百万分之一的高分辨率实现高精度测量。
【机 构】
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西特传感技术（天津）有限公司天津300203
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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1996年06期
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