【摘 要】
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采用粉末微注射成形技术制得 ZrO2阵列式微流道，研究粉末粒径和注射成形工艺对微流道性能的影响规律。结果表明：通过优化注射工艺参数可以有效避免注射坯中缺陷的产生；不同粉末
【机 构】
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南京电子技术研究所,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
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采用粉末微注射成形技术制得 ZrO2阵列式微流道，研究粉末粒径和注射成形工艺对微流道性能的影响规律。结果表明：通过优化注射工艺参数可以有效避免注射坯中缺陷的产生；不同粉末粒径的试样烧结后，致密度和力学性能均随烧结温度的升高先增大后减小；中位粒径为200 nm粉末粒径的试样最佳烧结温度为1500℃，致密度为99.5%；中位粒径为100 nm粉末粒径的试样最佳烧结温度为1250℃，致密度为98.4%，均近完全致密。纳米级粉末的使用可有效降低烧结温度、提高力学性能；粉末粒径从200 nm下降到100 nm时，粗
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