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重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目；简单介绍相关设备涉及的其他节能项目，同时介绍冷水系统相关设备的节能管理，以供各位同行参考。
半导体工厂冷水系统节能项目及管理
【摘 要】
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重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目；简单介绍相关设备涉及的其他节能项目，同时介绍冷水系统相关设备的节能管理，以供各位同行参考。
【机 构】
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上海华虹NEC电子有限公司动力部
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2013年3期
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