【摘 要】
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论述了目前太阳能级多晶硅的主要生产技术研究现状,并对一些具有代表性的新工艺进行介绍。太阳能级多晶硅的生产方法主要包括改良西门子法、硅烷法、流化床法、冶金法及锌还
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论述了目前太阳能级多晶硅的主要生产技术研究现状,并对一些具有代表性的新工艺进行介绍。太阳能级多晶硅的生产方法主要包括改良西门子法、硅烷法、流化床法、冶金法及锌还原法。指出硅烷法和流化床法是未来多晶硅生产技术发展的趋势和方向,冶金法和锌还原法的工艺尚不够成熟,但具有潜力。
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