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电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性.该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程.描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生产了性能良好的吉赫兹频带滤波器、谐振器和延迟线等声表面波器件.
电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件
【摘 要】
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电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性.该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京长峰声表面公司
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2005年6期
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