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期刊论文
ACPDP介质膜的实验研究
ACPDP介质膜的实验研究
来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dv_lover
【摘 要】
:
研究了用薄膜SiO2作介质的可行性,并对电子束蒸发制备的SiO2介质膜进行了微观分析。
【作 者】
:
王昌铧
姚宗熙
【机 构】
:
西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
:
液晶与显示
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
等离子体显示板
介质膜
电子束蒸发
透射电镜
plasma display panel
dielectric film
electron beam evapor
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研究了用薄膜SiO2作介质的可行性,并对电子束蒸发制备的SiO2介质膜进行了微观分析。
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