【摘 要】
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The textured growth of diamond film on HF eroded silicon wafer has been studied by HFCVD. The evolution of grain size and sudece morphology vs deposition time
【出 处】
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Journal of Materials Science & Technology
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The <100> textured growth of diamond film on HF eroded silicon wafer has been studied by HFCVD. The evolution of grain size and sudece morphology vs deposition time is presented and the <100> textured thick diamond film (80μm) with smooth surface, desirable for practical application in many fields is obtained
The <100> textured growth diamond film on HF eroded silicon wafer has been studied by HFCVD. The evolution of grain size and sudece morphology vs deposition time is presented and the <100> textured thick diamond film (80 μm) with a smooth surface, desirable for practical application in many fields is obtained
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