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单晶硅表面上自组装单层有机分子巯基硅烷单层膜,将这层巯基原位氧化成为磺酸基,在氢氧化铁溶胶形成过程中同时放入带有磺酸基层的硅基底进行薄膜组装,由于溶胶颗粒极小、分布均匀,可以得到表面粗糙度仅为0.164nm、颗粒小于10nm的均匀的氧化铁薄膜,并采用原子力显微镜(AFM)进行了表面形貌的表征.