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本文在讨论了ＳＰＭ基本原理和应用的基础上，详细介绍了近期ＳＰＭ的最新技术进展和成像模式以及拓展的应用领域，使我们能对ＳＰＭ有一个全新的认识和了解，以便它们更好地应用到研究领域中。
扫描探针显微镜的最新技术进展及应用
【摘 要】
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本文在讨论了ＳＰＭ基本原理和应用的基础上，详细介绍了近期ＳＰＭ的最新技术进展和成像模式以及拓展的应用领域，使我们能对ＳＰＭ有一个全新的认识和了解，以便它们更好地应用到研究领域中。
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1999年4期
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