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立式氢化物气相外延反应器生长GaN模拟研究

来源 :中国科学:物理学 力学 天文学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiangrc123

【作 者】

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赵传阵  修向前  张荣  谢自力  刘斌  刘占辉  颜怀跃 

【出 处】

：

中国科学:物理学 力学 天文学

【发表日期】

：

2010年01期

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