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介绍了一种适合气态和液态流体的新型热敏电阻式流量传感器,采用了陶瓷、Al2 O3 、金属铂和不锈钢等高温材料,运用了溅射镀膜、激光调阻、玻璃烧结、钎焊等工艺技术,克服了毛细管上绕漆包线的传统工艺所带来的一系列问题,具有不老化、漂移小、寿命长、适用于高温流体和高温环境等优点。
高温质量流量传感器技术研究
【摘 要】
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介绍了一种适合气态和液态流体的新型热敏电阻式流量传感器,采用了陶瓷、Al2 O3 、金属铂和不锈钢等高温材料,运用了溅射镀膜、激光调阻、玻璃烧结、钎焊等工艺技术,克服了毛
【机 构】
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南昌大学材料科学研究所
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
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2005年05期
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