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分析了体硅CMOS RF集成电路中电感的寄生效应，以及版图参数对电感品质因数Q的影响，并通过Matlab程序模拟了在衬底电阻，金属条厚度、氧化层厚度改变时电感品质因数的变化，分析了不同应用频率时版图参数在寄生效应中所起的作用，得出了几条实用的设计原则并进行实验验证。实验结果与模拟值符合得很好，表明此模拟方法与所得结论均可有效地用于指导射频（RF）集成电路中集成电感的设计。