靶/基距对CrTiAlN薄膜性能影响的研究

来源 :浙江工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kaofzp

【摘要】

：

利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13热作模具钢基体上沉积了CrTiAlN薄膜.采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪等测试仪器对薄膜的形貌和成分进行了表征和

【作者】

：

金杰李娜田正磊李浩

【机构】

：

浙江工业大学机械工程学院

【出处】

：

浙江工业大学学报

【发表日期】

：

2013年01期

【关键词】

：

靶/基距 CrTiAlN 显微硬度膜/基结合力摩擦磨损性能

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利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13热作模具钢基体上沉积了CrTiAlN薄膜.采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪等测试仪器对薄膜的形貌和成分进行了表征和分析,测得了薄膜的表面显微硬度和膜/基结合力,并采用摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦磨损性能进行了测试.研究和分析了不同靶/基距对CrTiAlN薄膜的厚度、成分和性能的影响.

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