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开关是微波信号变换的关键器件之一。在射频，微波集成电路中，已经大量使用的场效应管FET和半导体二极管PIN等半导体开关，由于其工作频率较低、插入损耗较大、隔离度较低、固有的非线性特性和功耗较大，导致半导体开关存在许多缺陷。随着微机电系统MEMS(Micro Electronic Mechanical System)技术的出现和快速发展，MEMS开关得到了广泛的研究和应用，和半导体开关相比，MEMS开关具有插入损耗较低、隔离度较高，并且消除了由于半导体结引起的I-V非线性等特点。