【摘 要】
：
采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计研究了Ag粒子在小团聚条件下辅助化学刻蚀Si过程中,刻蚀剂HF和氧化剂H2O2的体积比对刻蚀孔隙结构和刻蚀速度的影响.结果表明,HF和H2O2的体
【机 构】
：
沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室;北京钢铁研究总院功能材料研究所;
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目51171118;辽宁省自然科学基金项目20212339;沈阳市科技基金项目F10-205-1-60资助~~
论文部分内容阅读
采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计研究了Ag粒子在小团聚条件下辅助化学刻蚀Si过程中,刻蚀剂HF和氧化剂H2O2的体积比对刻蚀孔隙结构和刻蚀速度的影响.结果表明,HF和H2O2的体积比对刻蚀Si中的孔隙生长速度和形貌有明显的影响,HF和H2O2的摩尔分数ρ=[HF]/（[HF]+[H2O2]）过低或过高均不利于孔隙的生长.当60%<ρ<80%时,Si可获得快速刻蚀,刻蚀速度为1050—1260 nm/min.此时,孔隙密度高,孔径较大且相互连通,沿垂直Si表面生长.所获得的Si表面对200—1000 nm波段太阳光的平均反射率可降至5.9%.此外,孔隙生长速度和形貌也与Ag颗粒的尺寸和形态密切相关.
其他文献
目的比较分化型甲状腺癌(DTC)手术切除后单纯T4抑制治疗与131I治疗联合T4抑制治疗的生存率与复发率,证明DTC术后131I治疗的必要性。方法232例DTC病例分为A组:手术切除后T4抑
目的:对海南香茅油超临界CO2流体萃取工艺条件进行优化。方法:采用正交试验法,以萃取压力、萃取温度和萃取时间为考察因素,以香茅油的萃取得率为指标筛选香茅油的提取工艺。
目的:探讨维生素D3对糖尿病大鼠肾脏的保护作用及其机制。方法:实验选用3月龄雌性SD大鼠(清洁级)30只。按随机数字表法分为3组,分别为正常对照组,糖尿病模型组,维生素D3治疗
在经济发展的新常态下,我国越来越重视健康发展和环境保护,而不再是一味地追求速度。可持续发展道路的提出使环境保护理念更加深入人心,国民经济不断向绿色经济方向发展。绿
目的 探讨酶联免疫吸附法检测乙肝五项结果中的常见影响因素.方法 随机选择2014年5月至2015年6月来我院门诊或者病房进行乙肝五项检测的患者160名,将所有患者的血标本分为4个
本文在合成1-(2-氨乙基)-2-十五烷基咪唑啉(A)的基础上,利用硫代氨基脲对其进行改性,制备了一种1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-十五烷基咪唑啉(B)新型缓蚀剂。通过失重法和电化学方
背景:有报道通过建立软骨两相模型,数值模拟循环压缩载荷下固体基质的应变,在细胞水平上研究了机械刺激对关节炎的影响。但考虑软骨实际运动所受到变化的载荷和运动角度方面
<正>我科从2001-2004年在综合治疗脑卒中基础上,以穴位 注射治疗脑卒中后肩痛症60例,取得较好的效果。现报道 如下。 临床资料:60例为我院2001-2004年住院病人,资料完 整,男3