用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究

来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxin_vb
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讨论了用高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理,用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19软磁薄膜,并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析。
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