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用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究
用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究
来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxin_vb
【摘 要】
:
讨论了用高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理,用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19软磁薄膜,并对所测得的薄膜
【作 者】
:
陈善宝
林更琪
【机 构】
:
华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
:
华中理工大学学报
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
软磁薄膜
磁控溅射
磁场定向
高频磁阻抗效应
soft magnetic thin film
magnetron sputtering
oriented m
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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讨论了用高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理,用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19软磁薄膜,并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析。
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