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介绍了采用End—Hall源沉积DLC膜的方法，在简单说明其工作原理的同时给出了实验的各项技术参数；通过对实验结果和DLC膜样品的分析，可看出用End—Hall源沉积方式能够消除RFCVD沉积方式所带来的边缘效应．
End—Hall源沉积类金刚石膜的实验
【摘 要】
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介绍了采用End—Hall源沉积DLC膜的方法，在简单说明其工作原理的同时给出了实验的各项技术参数；通过对实验结果和DLC膜样品的分析，可看出用End—Hall源沉积方式能够消除RFCVD沉
【机 构】
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航天科工集团三院8358所,南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室
【出 处】
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南开大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年1期
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