高分辨率电镜微米云纹法及其应用

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【摘要】

：

文中就云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法,聚焦离子束云纹测量微区变形的原理和适用性进行了讨论.应用1200线/毫米的云纹光栅并结合云纹干涉法,电子束云

【作者】

：

谢惠民戴福隆李标吕云光 Chai Gin Boay A

【出处】

：

实验力学

【发表日期】

：

2002年z1期

【关键词】

：

云纹干涉法电子束云纹原子力云纹 SEM扫描云纹聚焦离子束云纹全息光栅

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文中就云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法,聚焦离子束云纹测量微区变形的原理和适用性进行了讨论.应用1200线/毫米的云纹光栅并结合云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法测量QFP和BGA型电子封装组件的热变形.提出一种新型聚焦离子束云纹法,在MEMS结构上制栅形成FIB扫描云纹,成功的实验结果表明这种方法的可行性.

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