【摘 要】
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本文利用X射线衍射和透射电子显微镜对离子注入合成的β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜进行了研究.对掺杂C前后样品的对比研究表明,选择C作为掺杂元素,能够得到界面平直、厚度均一
【机 构】
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三束国家重点联合实验室大连理工大学分部,三束国家重点联合实验室大连理工大学分部
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本文利用X射线衍射和透射电子显微镜对离子注入合成的β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜进行了研究.对掺杂C前后样品的对比研究表明,选择C作为掺杂元素,能够得到界面平直、厚度均一的高质量β相薄膜,晶粒得到细化,β-FeSi2层稳定性提高,因此从微结构角度考虑,引入C离子对于提高β-FeSi2薄膜的质量是很有益处的.进一步进行光学吸收表征,发现C离子的引入对β层的Edg值没有产生明显影响.所以综合来说C离子的引入有利于得到高质量的β-FeSi2薄膜.用掠入射X射线衍射和Celref程序精确地测量薄膜的晶
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