【摘 要】
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在室温下工作的一台电子级气体纯化器最近由BOC集团技术中心研制成功。该纯化器可除掉几vppm的杂质,可使惰性气体中的CO、H_2、CO_2、H_2O和O_2等杂质含量降到<0.1vppm的水平
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在室温下工作的一台电子级气体纯化器最近由BOC集团技术中心研制成功。该纯化器可除掉几vppm的杂质,可使惰性气体中的CO、H_2、CO_2、H_2O和O_2等杂质含量降到<0.1vppm的水平。在研制过程中,为了选择最有效和最可靠的催化剂,考察了几种担载到载体上的金属催化剂在室温下氧化CO和H_2反应的催化行为。对于用担载Rh和Pt的催化剂,在低反应物浓度(<10vppm)和低温(20℃)下,其结果是过渡时间长,失活缓慢。如同在较高浓度和较高温度下氧化CO一样,观察到反应具有稳态的多重性,这被
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