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本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价值。
一种硅微型加速度计的制备与测试方法研究
【摘 要】
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本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价值。
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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中国惯性技术学报
【发表日期】
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1998年4期
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