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采用直拉法拉制硅单晶，在拉晶过程中，研究了不同型号机械泵、等径功率、坩埚转速及投料量等工艺参数对硅单晶氧含量的影响。结果显示：用抽气速率大的80泵，等径功率下降至58kW，坩埚转速降低至6．4rmp／min，投料量降低至68kg，均可以降低硅单晶氧含量，并在此基础上得出合理的拉晶生产工艺。
拉晶工艺中直拉硅单晶氧含量的优化研究
【摘 要】
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采用直拉法拉制硅单晶，在拉晶过程中，研究了不同型号机械泵、等径功率、坩埚转速及投料量等工艺参数对硅单晶氧含量的影响。结果显示：用抽气速率大的80泵，等径功率下降至58kW，坩埚
【机 构】
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上海九晶电子材料股份有限公司技术研发部
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2010年11期
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