【摘 要】
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无论是离子回旋放电等离子体(RF)的硼化还是辉光放电等离子体的硼化均已经在全超导托卡马克(东方超环)上成功的开展了。整个硼化过程利用残余气体分析仪和膜厚仪进行在线实时
【基金项目】
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安徽新华学院校级自然科学项目,项目名称:托卡马克上潘宁光学质谱计实时测控系统的研究,编号:2017zr015
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无论是离子回旋放电等离子体(RF)的硼化还是辉光放电等离子体的硼化均已经在全超导托卡马克(东方超环)上成功的开展了。整个硼化过程利用残余气体分析仪和膜厚仪进行在线实时监测,特别是实时膜厚测量系统为硼化实验提供了直观且详尽的指导。由于目前硼化材料使用的是氢基的碳硼烷(C2B10H12),所以硼化后整个装置的氢滞留显著提高。同时、由于超导托卡马克在运行过程中的纵向磁场必然稳定存在,而辉光放电无法在强磁场下运行(全超导托卡马克的纵向磁场通常为特斯拉量级),所以能在强磁场中运行的离子回旋被认为是目前最为行之有效的壁处理方式之一。该论文首先介绍离子回旋硼化的过程以及硼化的实验设置,随后分析了硼化对等离子体运行的影响,最后给出结论。
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