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为了改善钛合金表面的高温抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在TC4钛合金表面沉积了总厚度约为6μm的MoS2–Ti/Cu–Ni–In多层固体润滑膜,并与单层MoS2–Ti与Cu–Ni–In膜进行对比。利用扫描电镜、压痕仪、X射线衍射仪、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机和三维表面轮廓仪对固体润滑薄膜的形貌、结合强度、物相、显微硬度、350°C下的微动磨损行为和磨痕形貌进行分析。结果表明,所制备的MoS2–Ti/Cu–Ni–In多层膜交替结构清晰,致密,在12000个微动循环周期后的摩擦因数稳