【摘 要】
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介绍了我国太赫兹测量技术的发展背景;太赫兹矩形金属波导、多层导波结构、双定向耦合结构等复杂三维导波结构精密制造与工艺实现方法;太赫兹肖特基二极管、高效倍频、谐波混
【机 构】
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中国电子科技集团有限公司第 41 研究所,山东 青岛,266000
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介绍了我国太赫兹测量技术的发展背景;太赫兹矩形金属波导、多层导波结构、双定向耦合结构等复杂三维导波结构精密制造与工艺实现方法;太赫兹肖特基二极管、高效倍频、谐波混频、功率检波等有源器件及电路研究进展.在共性关键技术取得突破的基础上,通过集成创新,研制了太赫兹矢量网络分析仪、信号发生器、频谱分析仪和功率计4种常用测量仪器,以及天线、雷达散射截面(RCS)和材料3种常用测量系统,测量频率覆盖了50～500,GHz,实现了从核心器件、部件到仪器整机和测量系统的全产业链自主可控,为太赫兹科学研究与工程应用提供了成套测量解决方案.
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