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激光干涉仪已成为PCB数控机床中测量定位与重复定位精度的标准仪器。针对测量数据不稳定的问题,分析激光干涉仪测量原理,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系;对生产现场环境模块数据进行测量,环境模块变化量对波长总的补偿量为0.23μm,与实际误差相比,波长变化导致的误差几乎可以忽略,通过测量得出测量精度不稳定的主要原因是横梁X轴连接杆的变形。针对该原因进行了结构的重新设计,实现了精度补偿及测量的稳定。