【摘 要】
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中国计量科学研究院参加了国际关键比对K129,采用X射线光电子能谱仪（XPS）建立了测量薄膜太阳能电池材料铜铟镓硒（CIGS）薄膜组成和深度成分分布的有效方法。采用合适的条件,对CIGS
【机 构】
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中国计量科学研究院,中国石油大学北京化学工程学院
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中国计量科学研究院参加了国际关键比对K129,采用X射线光电子能谱仪（XPS）建立了测量薄膜太阳能电池材料铜铟镓硒（CIGS）薄膜组成和深度成分分布的有效方法。采用合适的条件,对CIGS薄膜进行深度剖析,提出并完善了一套XPS深度剖析数据处理方法（全计数法和相对灵敏度因子法）,对薄膜组成进行了准确测量。结果表明,该方法的测量重复性良好,5次测量的相对标准偏差（RSD）均小于2%,测量扩展不确定度优于4%,与其他国家计量院的结果取得等效一致。对比研究了不同灵敏度因子来源（由参考样品获得、仪器数据库的3种来源
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