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集成电路进入20nm以后，FinFET，EUV，450mm晶圆，3DIC等新技术不断涌现。同时为了与这些先进技术相匹配，芯片设计人员也要改变原有理念，用DFP，DFM，DFA，和DFc的新概念指引设计。
20nm以后的集成电路技术
【摘 要】
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集成电路进入20nm以后，FinFET，EUV，450mm晶圆，3DIC等新技术不断涌现。同时为了与这些先进技术相匹配，芯片设计人员也要改变原有理念，用DFP，DFM，DFA，和DFc的新概念指引设计。
【机 构】
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上海交通大学微电子学院
【出 处】
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数字技术与应用
【发表日期】
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2013年1期
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