【摘 要】
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微机器人是微机电系统(MEMS)的重要分支,是微机电系统发展的高级形式.本文阐述了微机器人的关键技术;从微机器人关键技术这个新角度介绍了它的应用;最后指出了微机器人发展中
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微机器人是微机电系统(MEMS)的重要分支,是微机电系统发展的高级形式.本文阐述了微机器人的关键技术;从微机器人关键技术这个新角度介绍了它的应用;最后指出了微机器人发展中尚待解决的问题,并对其发展提出了若干建议.
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