【摘 要】
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用光学显微镜分别测量了 1 0 6 μm激光辐照硅、锗材料形成表面波纹的形貌特征。在激光辐照材料形成初始表面波纹之后 ,后继激光对最终波纹的增长起正反馈作用。当激光功率密
【机 构】
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中国工程物理研究院流体物理研究所; 华南师范大学量子电子学研究所; 中国工程物理研究院流体物理研究所 四川绵阳621900; 广东广州510631; 四川绵阳6
【基金项目】
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国家 8 6 3激光技术领域和中国工程物理研究院基金 (编号 :2 0 0 2 0 4 2 4 )资助项目
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用光学显微镜分别测量了 1 0 6 μm激光辐照硅、锗材料形成表面波纹的形貌特征。在激光辐照材料形成初始表面波纹之后 ,后继激光对最终波纹的增长起正反馈作用。当激光功率密度略大于材料损伤阈值时 ,材料表面呈现周期性的波纹结构 ;当激光功率密度远大于材料损伤阈值时 ,材料熔融区内出现无规则的随机分布波纹。激光辐照硅、锗材料产生的波纹结构与材料的性能、表面状况和实验中使用的激光参数密切相关。同时 ,分析了表面波纹结构对激光光束传输特性 ,以及激光与材料相互作用产生破坏效应的影响
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