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介绍了几种高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理，并对其结构特性进行了分析，最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析
【摘 要】
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介绍了几种高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理，并对其结构特性进行了分析，最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
【机 构】
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北京理工大学机电学院
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2002年4期
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