基于GaAs MMIC技术的残余应力测试结构的模拟与设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 5次 | 上传用户：gmwzg

【摘要】

：

残余应力对开关梁的力学特性有着重要的影响。梁的弹性系数k由梁的形状和材料特性(杨氏模量和残余应力)来决定。应力梯度会使悬臂梁发生卷曲,对k也会产生影响。由残余应力引起的梁的长度变化量在微米级别,一般实验仪器难于测量。基于GaAs基和Si基的器件残余应力不同,相应的测试结构需重新设计。为了克服这些问题,本论文重新模拟并优化了微旋转式残余应变测试结构,尽量简化对测试仪器的要求。本文使用Intellis

【作者】

：

蒋明霞杨刚周易肖建斌廖小平

【机构】

：

东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2012年07期

【关键词】

：

GAAS 残余应力应力梯度实验验证 GaAs residual stress stress gradient experimentally verifica

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