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基于ANSYSFluent软件，对微通道内气体在不同压力驱动下的流动做参数化数值模拟分析，得出不同克努森数（Kn）的通道出口截面速度分布图和质量流率，并将仿真结果和理论研究进行比较，分析微通道内气体流动特性与宏观流动的异同，研究稀薄气体效应．模拟结果表明：在微通道中，连续介质假设失效；当微系统特征尺度很小或者工作压力很小时，微通道内的气体具有较大的Kn，出现明显的稀薄气体效应；Kn越大，稀薄气体效应越强烈；稀薄气体效应导致固壁边界的滑移速度和质量流率变大．