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掺磷低压化学汽相沉淀的硅薄膜

来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gwj19861113

【作 者】

：

范炳筠 

【出 处】

：

红外技术

【发表日期】

：

1980年08期

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