光谱辐射标准和计量实验站的建设和研究

来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yxws

【摘要】

：

介绍了光谱辐射标准和计量光束线（U27）的光学设计、结构和实验站设备，利用透射光栅和AXUV100G探测器系统研究了掠入射分支（SGM）5～140nm的高次谐波情况；给出了研究结果和不同滤片材料

【作者】

：

周洪军霍同林钟鹏飞张国斌郑津津

【机构】

：

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

【出处】

：

中国科学技术大学学报

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

同步辐射计量高次谐波 synchrotron radiation metrology higher order harmonics

【基金项目】

：

国家自然科学基金（10575097,60473133）资助.

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介绍了光谱辐射标准和计量光束线（U27）的光学设计、结构和实验站设备，利用透射光栅和AXUV100G探测器系统研究了掠入射分支（SGM）5～140nm的高次谐波情况；给出了研究结果和不同滤片材料对高次谐波的抑制情况，Zr，Si3N4和Al滤片可以有效的抑制5～34nm的高次谐波，MgF2能有效的抑制115～140nm的高次谐波．

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